<abbr id="uicoa"><source id="uicoa"></source></abbr>
<rt id="uicoa"></rt>
<abbr id="uicoa"><source id="uicoa"></source></abbr>
  • <center id="uicoa"><tr id="uicoa"></tr></center>
    歡迎來到南京聯俊流體技術有限公司網站!
    咨詢熱線

    13327836892

    當前位置:首頁  >  技術文章  >  高純氣體管路設計“七要點”

    高純氣體管路設計“七要點”

    更新時間:2024-07-24  |  點擊率:1156

    高純氣體管路設計“七要點"

    1、氣體特性

    了解氣體特性,規劃獨立的供應區域。一般根據氣體特性分為三個區:腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區。將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區要特別規劃防爆墻和泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體于毒性/腐蝕性氣體放置同一區域。

    2、輸送距離

    管路設計需要考慮輸送至用氣點的距離,距離越長,成本越高,風險越高。

    通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設計方面,則需要考慮使用點的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關,后者使用點的管徑一般為1/4"~3/8"。

    3、設備分布情況

    根據用氣設備的分布情況嗎,高純氣體的管網大小長短應適宜,不宜過大或過長;宜采用不封閉的環形管路,在末端連續不斷排放少量的氣體,以便在管網中總有高純氣體流通,不會發生“死空間"引起高純氣體的污染。

    4、減少管路“死區"

    管路中不應設有盲管,減少不流動氣體的“死區",在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門控制裝置用以控制各個閥門的開關順序、系統吹除,以確保供氣系統的安全、可靠運行和防止“死區"形成而滯留污染物,降低氣體純度。

    5、輸送系統“分等級"

    對高純氣體純度要求不同的用氣設備,宜采用分等級高純氣體輸送系統;也可采用同等級輸送系統,但是在純度要求高的用氣設備臨近處設末端氣體提純裝置。

    6、采樣儀器及“采樣口"

    為了檢測高純氣體的純度和雜質含量,輸送系統除了設置必要的連續檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質等分析儀外,還應設置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質的含量。

    7、確保氣體純度

    在亞微米級的集成電路生產中,要求供應10-9級的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度,使氣體中的雜質含量(包括塵粒)控制在規定的數值內,一般在設備前設置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。


    久久婷婷五月综合97色一本一本| 狠狠色婷婷丁香综合久久韩国| 久久精品韩国三级| 亚洲丁香婷婷综合久久| 久久久噜噜噜久久久午夜| 久久er国产精品免费观看8| 99久久做夜夜爱天天做精品| 久久免费动漫品精老司机| 久久免费国产精品| 99久久精品免费精品国产| 中文字幕精品久久久久人妻| 日韩久久精品一区二区三区 | 久久www免费人成看片| 免费精品久久天干天干| 色播久久人人爽人人爽人人片aV| 精品国产乱码久久久久软件 | 久久精品国产亚洲av瑜伽| 久久精品国产亚洲AV高清热| 久久青草免费91线频观看站街| 久久久久久久久久久免费精品| 大香大香伊人在钱线久久下载| 国产精品久久久久aaaa| 久久男人Av资源网站无码软件| 久久青青草原亚洲AV无码麻豆| 国产亚洲精午夜久久久久久| 久久99精品国产麻豆婷婷| 欧洲性大片xxxxx久久久| 热久久美女精品天天吊色| 国产精品久久久久无码av| 久久久久99精品成人片试看| 无码伊人66久久大杳蕉网站谷歌| 久久久91精品国产一区二区三区| 伊大人香蕉久久网| 久久久久亚洲AV无码专区网站| 亚洲国产小视频精品久久久三级| 天啪天天久久天天综合啪| 精品久久久久久777米琪桃花| 久久久久无码精品国产app| 亚洲七久久之综合七久久| 狠狠色丁香久久婷婷综合图片| 久久精品动漫一区二区三区|